三氯氧磷用途：

用于制取磷酸二苯-異辛酯、磷酸三乙酯等磷酸酯，塑料增塑劑，有機磷農藥，長效磺胺藥物等。還可用作染料中間體，有機合成的氯化劑和催化劑，阻燃劑。

電子級三氯氧磷的用途在太陽能行業，集成電路，分離器件，光線預制棒等液態磷源也可制備磷酸酯。

在半導體行業主要用于N型摻雜源，在0℃反應效果Z好。

應急處置：

皮膚接觸：立即脫去污染的衣著，用大量流動清水沖洗至少15分鐘。就醫。

眼睛接觸：立即提起眼瞼，用大量流動清水或生理鹽水徹底沖洗至少15分鐘。就醫。

吸入：迅速脫離現場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止，立即進行人工呼吸。就醫。

食入：用水漱口，無腐蝕癥狀者洗胃。忌服油類。就醫。

呼吸系統防護：可能接觸其蒸氣時，必須佩戴自吸過濾式防毒面具（全面罩）或隔離式呼吸器。緊急事態搶救或撤離時，建議佩戴空氣呼吸器。

眼睛防護：呼吸系統防護中已作防護。

身體防護：穿橡膠耐酸堿服。

手防護：戴橡膠耐酸堿手套。

其他防護：工作現場禁止吸煙、進食和飲水。工作完畢，淋浴更衣。單獨存放被毒物污染的衣服，洗后備用。保持良好的衛生習慣。

泄漏應急處理：迅速撤離泄漏污染區人員至安全區，并立即隔離150m，嚴格限制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿防酸堿工作服。不要直接接觸泄漏物。盡可能切斷泄漏源。小量泄漏：用砂土、蛭石或其它惰性材料吸收。大量泄漏：構筑圍堤或挖坑收容。在專家指導下清除。

有害燃燒產物：氯化氫、氧化磷、磷烷。

滅火方法：滅火劑：干粉、干燥砂土。禁止用水。